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對無塵室的空氣質(zhì)量以及溫濕度控制是無塵室設(shè)計與維護(hù)的重要性，這里小編為您簡單的介紹下無塵室控制的一般原理及溫濕度控制的基本要求。

1.空氣過濾原理

無塵室里的空氣是靠進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)將氣流“活塞”般的擠壓進(jìn)入，氣流則是通過初效過濾器，然后再經(jīng)中效過濾器，然后經(jīng)過超高效過濾器，最后把潔凈空氣傳入無塵室，使無塵室中的空氣塵粒迅速達(dá)到相應(yīng)的無塵室標(biāo)準(zhǔn)要求，并且同時把無塵室內(nèi)污染排出。為了考慮節(jié)能，排出的污染空氣會經(jīng)過回風(fēng)后，再次經(jīng)過超高效過濾器而重新傳入無塵室。

2.溫濕度要求

無塵室空氣溫濕度的要求由以下綜合確定：

 (1)對人的舒適性，以人穿著不同潔凈服的情況下充分發(fā)揮了工作效率，一般的溫度需要21OC~24OC才會比較適宜，若潔凈服的要求比較嚴(yán)，那么則20OC~22OC，波動<1.5OC，濕度30%~70%;

 (2)工藝的要求;

 (3)經(jīng)濟性，溫濕度及相對濕度夏天越低，冬天越高，則空氣處理能耗越大。

當(dāng)前微電子工廠無塵室對溫濕度的參數(shù)大致范圍是：溫度為24OC+/-1~2OC，要求嚴(yán)的為22OC+/-0.3~0.5OC。濕度為45%+/-5%~10%,要求嚴(yán)的為43%+/-3%。要求全年維持。